Fabrication lithographique de nanostructures de Fe et Co [French]

By Fan Tu

L'industrie des semi-conducteurs est ? la fois le moteur et le b?n?ficiaire du d?veloppement des nanotechnologies. Comme le pr?voit la loi de Moore, le nombre de nanocomposants individuels tels que les transistors sur une puce continue d'augmenter, ce qui accro?t la densit? des entit?s fonctionnelles et am?liore ainsi la puissance de calcul. Une m?thode puissante pour la fabrication contr?l?e ? l'?chelle nanom?trique est le traitement induit par faisceau d'?lectrons focalis? (FEBIP). Dans cette m?thode, un faisceau d'?lectrons focalis? est utilis? pour modifier localement les propri?t?s d'un substrat, ce qui permet de fabriquer des nanostructures de forme arbitraire et de composition chimique contr?l?e. La technique FEBIP la plus fr?quemment appliqu?e et la plus importante est le d?p?t induit par faisceau d'?lectrons (EBID), dans lequel certaines mol?cules pr?curseurs sont localement dissoci?es par l'impact du faisceau d'?lectrons, ce qui entra?ne le d?p?t de fragments non volatils des pr?curseurs. Dans cet ouvrage, des recherches ont ?t? men?es sur la fabrication et l'application de la nanostructure par EBID.

• Format: Paperback
• Language: French
• ISBN: 6205598833
• ISBN13: 9786205598832
• Release Date: January 2023
• Publisher: Editions Notre Savoir
• Length: 116 Pages
• Weight: 0.40 lbs.
• Dimensions: 0.3" x 6.0" x 9.0"