Wzrost i charakterystyka cienkich warstw ITO metodą rozpylania magnetronowego [Polish]

by Öcal Tuna

W tej pracy cienkie warstwy tlenku cyny indu (ITO) byly hodowane zar?wno techniką rozpylania magnetronowego DC jak i RF. Aby poznac szybkośc osadzania ITO, system zostal skalibrowany zar?wno dla DCMS jak i RFMS, a następnie ITO byly uprawiane na szklanym podlożu o grubości 70 nm i 40 nm poprzez zmianę temperatury podloża. Zbadano wplyw temperatury podloża, grubości warstwy i metody napylania na wlaściwości...

• Format: Paperback
• Language: Polish
• ISBN: 620334026X
• ISBN13: 9786203340266
• Release Date: October 2021
• Publisher: Wydawnictwo Nasza Wiedza
• Length: 96 Pages
• Weight: 0.33 lbs.
• Dimensions: 0.2" x 6.0" x 9.0"