VLSI (Very Large Scale Integration) Designaktivit ten sind der Schl ssel zum erfolgreichen Einf hren vieler neuer Produkte. VLSI-Designaktivit ten verzeichnen ein j hrliches Wachstum von ber 20 %. Die Erfolgsquote von VLSI-Design wird jedoch durch Faktoren wie die Verringerung geometrischer Merkmale und die Integration analoger, digitaler und HF-Funktionsmodule beeintr chtigt. Die VLSI-Schaltungsbearbeitungstechnologie ist die einzige vielversprechende L sung, um technologische L sungen zur Best tigung und Validierung von Fehlern im Zusammenhang mit dem VLSI-Design zu bieten. Das Buch enth lt eine kurze Beschreibung des fokussierten Ionenstrahlsystems und seines Zubeh rs, mit denen die Schaltungsbearbeitungstechnologie implementiert wird. Es werden Methoden f r die VLSI-Schaltungsbearbeitung beschrieben. Dazu geh ren die Entkapselung von ICs, die Entfernung von Polyimid, das Schneiden von Metallen, die Metallabscheidung usw. Einige der neuartigen Techniken, die f r die VLSI-Schaltungsbearbeitung entwickelt wurden, werden beschrieben. Das Buch zeigt auch verschiedene neue Herausforderungen in diesem Bereich auf. Diese Herausforderungen m ssen in Zukunft angegangen werden, um die VLSI-Schaltungsbearbeitung weiterzuentwickeln und L sungen anzubieten. Die Halbleiterindustrie kann nur mit der erfolgreichen Implementierung der VLSI-Schaltungsbearbeitung berleben und wachsen.
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