Vacuum Microelectronics

Die st ndig steigenden Anforderungen an die Mikroelektronik lassen sich zum Teil mit Hilfe von Vakuumtechnologien bew ltigen: Im Vakuum kann man Bauelemente schneller, mit gr erer Reinheit und zuverl ssiger herstellen und zusammenf gen. Anwendungsgebiete reichen von der Herstellung integrierter Schaltkreise bis zu neuen Anzeigeger ten. Das erste Buch zu einem schnell wachsenden Forschungsgebiet

• Format: Hardcover
• Language: English
• ISBN: 047132244x
• ISBN13: 9780471322443
• Release Date: September 2001
• Publisher: Wiley-Interscience
• Length: 416 Pages
• Weight: 1.65 lbs.
• Dimensions: 0.9" x 6.1" x 9.2"