Le d?veloppement de ce travail est n? comme une pr?paration ? un futur projet du CEMMPRE qui consiste en la production de films minces DLC pour les segments de piston des moteurs ? combustion interne ? haute compression d?pos?s par HiPIMS en mode DOMS. L'objectif de ce travail est d'?tudier l'influence de certains param?tres de d?p?t dans les ?chantillons, afin d'obtenir une ligne directrice ? suivre dans le projet. La variation du biais du substrat montre qu'en augmentant le biais du substrat dans le processus de d?position, la duret? des rev?tements DLC augmente. En augmentant le biais du substrat, les ions de carbone dans le plasma sont attir?s avec plus d'?lan vers le substrat et il en r?sulte une structure plus compacte des films. Dans le cadre de cette th?se, du Ne est produit dans le gaz de d?charge et les effets du Ne sont ?tudi?s. Le Ne augmente le degr? d'ionisation du carbone dans le plasma, ce qui augmente le ratio sp3 dans la structure du film. Puisque sp3 est une hybridation plus puissante, les rev?tements d?pos?s avec Ne montrent plus de duret? dans le test de Nano indentation.
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