Étude d''un Micro-Gyromètre Deux Axes À Poutre Vibrante En Silicium [French]

By Maisonnet-J and Jerome Maisonnet

Les travaux presentes ont pour but l'optimisation et la realisation d'un gyrometre micro-usine a poutre vibrante sur substrat silicium. Ces travaux s'inscrivent dans la continuite de theses precedemment effectuees a FEMTO-ST et consacrees au developpement de structures en etoile. Cette configuration est appropriee a la realisation de mesures de vitesse angulaire dans le plan du substrat. Le projet de recherche propose une evolution du gyrometre silicium avec passage d'une detection capacitive a une detection optique. C'est pourquoi le memoire propose naturellement un redimensionnement en profondeur du capteur. Ainsi, un nombre important d'etudes par elements finis ont ete realisees pour optimiser la structure vibrante. Des etudes electromecaniques ont permis de comprendre en detail les specificites resultant du choix de l'excitation capacitive. Ces travaux ont conduit a l'elaboration d'une structure optimisee, et a a une redefinition des procedes de fabrication. Plusieurs capteurs ont ete realisees, validant le design et son process. Le recours a une sonde heterodyne a ensuite permis de mesurer les deplacements hors-plan en fonction du signal d'excitation."

• Format: Paperback
• Language: French
• ISBN: 613155076X
• ISBN13: 9786131550768
• Release Date: November 2010
• Publisher: Omniscriptum
• Length: 192 Pages
• Weight: 0.64 lbs.
• Dimensions: 0.4" x 6.0" x 9.0"