Die Entwicklung dieser Arbeit entstand als Vorbereitung f?r ein zuk?nftiges Projekt des CEMMPRE, das in der Herstellung von DLC-D?nnschichten f?r Kolbenringe von Hochkompressionsverbrennungsmotoren besteht, die mit HiPIMS im DOMS-Modus abgeschieden werden. Ziel dieser Arbeit ist es, den Einfluss bestimmter Abscheidungsparameter in den Proben zu untersuchen, um eine Leitlinie f?r das Projekt zu erhalten. Die Variation der Substratvorspannung zeigt, dass mit zunehmender Substratvorspannung im Abscheideprozess die H?rte der DLC-Schichten zunimmt. Durch die Erh?hung der Substratvorspannung werden die Kohlenstoffionen im Plasma mit mehr Schwung zum Substrat hingezogen, was zu einer kompakteren Struktur der Schichten f?hrt. Im Rahmen dieser Arbeit wird Ne als Entladungsgas erzeugt und die Auswirkungen von Ne untersucht. Ne erh?ht den Grad der Kohlenstoff-Ionisierung im Plasma, so dass sich das sp3-Verh?ltnis in der Struktur des Films erh?ht. Da sp3 eine st?rkere Hybridisierung ist, zeigen Beschichtungen, die mit Ne abgeschieden werden, eine h?here H?rte im Nano-Eindringtest.
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