Tecnologia MEMS: Uma abordagem para a fabricação de Lentes Electrostáticas Finas [Portuguese]

By ANJLI SHARMA, Ho Seob Kim, Sanjeev K Kanth

Desde a descoberta da microcoluna pela Chang em 1980, tem havido um imenso interesse na microcoluna miniaturizada devido ?s suas v?rias aplica??es como a litografia de feixe eletr?nico direto, dispositivo de baixo custo, baixa voltagem-SEM, e porport?til-SEM devido ao seu alto desempenho em termos de rendimento. O tamanho compacto permite que as microcolunas sejam montadas em forma de matriz, o que melhora significativamente o desempenho de imagem ou a capacidade de produ??o de litografia. Fabricamos e investigamos tr?s projetos diferentes de microcolunas, todos utilizando a lente de fonte modificada, dist?ncia de trabalho diferente e com e sem lente objetiva. A qualidade da imagem e a corrente da sonda de todas as microcolunas rec?m-fabricadas foram investigadas. As lentes eletrost?ticas foram fabricadas pela t?cnica MEMS. O emissor de campo 2D-CNT foi utilizado como emissor da fonte para estas colunas. Nosso resultado sugeriu que entre todas as tr?s estruturas de microcolunas, a microcoluna ultraminiaturizada mostrou a maior corrente de sonda 9,5 nA. Uma microcoluna ultraminiaturizada pode ser um candidato promissor para a pr?xima gera??o de ferramentas litogr?ficas, pois o projeto ? mais adequado para a microcoluna integrada em escala de wafer do que a microcoluna convencional.

• Format: Paperback
• Language: Portuguese
• ISBN: 6204156683
• ISBN13: 9786204156682
• Release Date: October 2021
• Publisher: Edicoes Nosso Conhecimento
• Length: 92 Pages
• Weight: 0.32 lbs.
• Dimensions: 0.2" x 6.0" x 9.0"