Technologien Der Mikrosysteme [German]

By Ha Duong Ngo

Das Buch vermittelt die Grundlagen zur Herstellung und dem Aufbau von Mikrosystemen. Es kann in zwei Teile aufgeteilt werden. Der Schwerpunkt von Teil I liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und behandelt die Siliziumtechnologie, mikromechanische Strukturierungs- (anisotropes ?tzen, DRIE) und Bondprozesse (Eutectic Bonding, Fusion Bonding). Teil II behandelt die Aufbau- und Verbindungstechnik f?r Mikrosysteme und vermittelt Kenntnisse zu den Prinzipien der Chipmontage. Dabei stehen u.a. die Beschichtungstechnologien (Metallisierungssysteme) und Kontaktiertechnologien (L?ten, Kleben, Bonden) im Vordergrund.

• Format: Paperback
• Language: German
• ISBN: 3658374977
• ISBN13: 9783658374976
• Release Date: January 2023
• Publisher: Springer Vieweg
• Length: 246 Pages
• Weight: 0.92 lbs.
• Dimensions: 0.5" x 6.7" x 9.6"