Nesta era, os dispositivos electr nicos, tais como telem veis, computadores, computadores port teis, sensores e muitos outros dispositivos, tornaram-se uma necessidade para o homem em termos de cuidados de sa de, de um estilo de vida agrad vel e de execu o r pida e f cil de tarefas. Foram desenvolvidos diferentes tipos de sensores de temperatura, biossensores, fotossensores, etc., para satisfazer as necessidades das pessoas. Todos estes dispositivos possuem chips fabricados com d odos, trans stores, portas l gicas e circuitos integrados. A modela o do substrato que utilizado para o desenvolvimento destes dispositivos efectuada com a ajuda de uma t cnica conhecida por Litografia. No presente trabalho, procedemos a uma revis o de diferentes tipos de t cnicas litogr ficas, como a litografia tica, a litografia de ultravioleta extremo, a litografia de feixe de electr es, a litografia de raios X e a litografia de feixe de i es. S o discutidas as evolu es registadas nestas t cnicas ao longo do tempo e as suas aplica es no fabrico de dispositivos. S o tamb m abordadas diferentes ferramentas de exposi o desenvolvidas na ltima d cada para melhorar a resolu o dos dispositivos. S o abordadas as resinas quimicamente amplificadas e n o quimicamente amplificadas, bem como a sua liga o e espessura.
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