Les tendances r centes en mati re de piles combustible oxydes solides visent exploiter la conduction du proton par l'utilisation d' lectrolytes de structure de type p rovskite, plus performants temp rature mod r e que les lectrolytes conducteurs de l'ion oxyde. Une seconde voie d'am lioration des performances des piles consiste diminuer l' paisseur de l' lectrolyte aux alentours de 5-10 micron pour minimiser sa r sistance. Dans ce contexte, les proc d s de d p t physique trouvent un int r t majeur. Dans ce travail, nous nous sommes attach s tudier la faisabilit de couches denses de c rates ou de zirconates de baryum ou de strontium, les lectrolytes conducteurs protoniques les plus aptes r pondre aux besoins de l'application, par co-pulv risation de cibles m talliques en pr sence d'une atmosph re r active d'argon-oxyg n.
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