Synthèse de couches minces résistives par pulvérisation cathodique [French]

By Alexandre Morilhat

L'?laboration de r?sistances calculables bas?es sur des d?p?ts de couches m?talliques ultra minces s'inscrit dans un objectif g?n?ral d'am?lioration des connaissances des constantes fondamentales qui constitueront probablement la future base de d?finition des unit?s ?lectriques dans le Syst?me International.Un nouvel ?talon de r?sistance en alternatif, compact et robuste, bas? sur le d?p?t d'un film ultra mince a ainsi ?t? d?velopp?. Des rev?tements ont ?t? d?pos?s sur substrats en c?ramique plans et cylindriques, par pulv?risation cathodique magn?tron. Les valeurs de r?sistance finales sont obtenues par mesures d'imp?dance de haute pr?cision et reli?es aux caract?ristiques des films telles que l'?paisseur, l'homog?n?it? chimique ou encore la structure cristalline. Il a fallu ma?triser les d?p?ts de couches ultra minces sur des substrats cylindriques pour obtenir une homog?n?it? sur toute la longueur du substrat et de tr?s fortes r?sistivit?s par carr?. Des cons?quences directes sont attendues sur les choix futurs du Comit? International des Poids et Mesures concernant une ?ventuelle red?finition du Syst?me International d'unit?.

• Format: Paperback
• Language: French
• ISBN: 6131566739
• ISBN13: 9786131566738
• Release Date: March 2011
• Publisher: Omniscriptum
• Length: 140 Pages
• Weight: 0.47 lbs.
• Dimensions: 0.3" x 6.0" x 9.0"