Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry: A User's Guide

By William A McGahan and Harland G. Tompkins

Mit Hilfe der Ellipsometrie mi t man Dicken und optische Eigenschaften dünner Filme. In den vergangenen Jahren hat die ellipsometrische Spektroskopie ebenso wie die eng verwandte Reflektometrie zunehmend die Industrielabors erobert. Dies schafft Bedarf an einer praxisnahen Einführung für ein interdisziplinäres Publikum von Materialwissenschaftlern, Physikern, Chemikern und Elektrotechnikern, wie sie mit diesem Buch gelungen ist. (04/99)

• Format: Hardcover
• Language: English
• ISBN: 0471181722
• ISBN13: 9780471181729
• Release Date: March 1999
• Publisher: Wiley-Interscience
• Length: 248 Pages
• Weight: 1.32 lbs.
• Dimensions: 0.9" x 6.6" x 9.4"