In dieser Arbeit wurden hochtransparente, leitf hige NiO-D nnschichten durch Sol-Gel-Schleuderbeschichtung auf einem Glassubstrat abgeschieden. Der Einfluss der Gl htemperatur auf die strukturellen, optischen und elektrischen Eigenschaften wurde untersucht. Die DRX-Analysen zeigten, dass die ZnO-Filme polykristallin sind und eine kubische NiO-Phase mit (111) und (200) Vorzugsorientierung, die den NiO-Filmen bei hohen Temperaturen entspricht, beobachtet wurde. Die optimalen Werte der durchschnittlichen Kristallitgr e der untersuchten ZnO-Filme werden ab einer Gl htemperatur von 550 C beobachtet. Die Zunahme der Kristallitgr e wurde durch die Verbesserung der Kristallinit t bei a-Achsen-Orientierung des NiO angezeigt. Alle gegl hten Schichten weisen eine durchschnittliche optische Transparenz von etwa 80 % im sichtbaren Bereich auf. Die Verschiebung der optischen Durchl ssigkeit in Richtung h herer Wellenl ngen l sst sich durch den Anstieg der Bandl ckenenergie von 3,536 auf 3,854 eV bei Erh hung der Gl htemperatur von 450 auf 600 C nachweisen. Die beobachtete Urbach-Energie der ZnO-D nnschichten sinkt von 339,311 auf 180,756 meV. Die gute elektrische Leitf higkeit wurde bei 550 C festgestellt.
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