Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen Mikroelektronischer Integrationstechnik [German]

By Ulrich Hilleringmann

Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchf hrung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchf hrung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen gen gen m ssen, um die geforderten Strukturgr en bis zu wenigen Nanometern gleichm ig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, tzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessf hrung erl utert.

• Format: Paperback
• Language: German
• ISBN: 3658234431
• ISBN13: 9783658234430
• Release Date: January 2019
• Publisher: Springer Vieweg
• Length: 275 Pages