Semiconductor Micromachining, Techniques and Industrial Applications (Semiconductor Micromachining, Volume 2)

by S.A. Campbell and H.J. Lewerenz

Book Overview

Ein umfassender F 1/4hrer durch physikalische Grundlagen und chemische Aspekte der Halbleiterverarbeitung, der eine F 1/4lle von Themen von der chemischen Reaktion bis zur Mikrostrukturierung abdeckt.... This description may be from another edition of this product.

• Format: Paperback
• Language: English
• ISBN: 0471966827
• ISBN13: 9780471966821
• Release Date: April 1998
• Publisher: Wiley
• Length: 408 Pages
• Weight: 1.55 lbs.
• Dimensions: 9.4" x 1.1" x 6.2"