Semiconductor Device and Failure Analysis: Using Photon Emission Microscopy

By Wai Kin Chim and Wai Kin Chim

Integrierte Schaltkreise werden immer komplexer - deshalb wird es zunehmend schwieriger, Fehler schnell und treffsicher aufzusp ren. Die Photonenemissionsmikroskopie (PEM) ist eine Analysetechnik auf physikalischer Grundlage, die sich als Fehlererkennungsmethode bew hrt hat. Dieser Band erl utert alle Aspekte dieser Methode, von der instrumentellen Ausr stung ber spezifische Details der Mikroskope bis hin zu Merkmalen der Photonenemission unter verschiedenen Bedingungen. (11/00)

• Format: Hardcover
• Language: English
• ISBN: 047149240X
• ISBN13: 9780471492405
• Release Date: December 2000
• Publisher: Wiley
• Length: 288 Pages
• Weight: 1.58 lbs.
• Dimensions: 0.7" x 7.0" x 10.0"