Le pr sent travail a pour encadre l' tude du d p t de couche mince de l'oxyde de zinc (ZnO).l'objective est de d termin les param tres majeurs qui permettent d'obtenir des couches nano-structur es avec une technique simple et moins co teuse qui est la technique spray ultrasoniques le ZnO pr sente la plus abondante des familles de nano-structures qu'un mat riau peut former. La caract risation morphologique faite par MEB et AFM nous a donn beaucoup de r sultats qui nous ont permis de d crire des mod les de croissance, et de faire un lien entre les param tres valid s et les r sultats obtenus.
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