Rutherford-Rückstreu-Analysen Mit Protonen [German]

Die Rutherford-R ckstreu-Analyse geh rt heute zu den Standa- verfahren in der Untersuchung VOn Oberfl chenschichten. Ihre F higkeit der Tiefenrnikroskopie mit einer Tiefenaufl sung von - einigen 100 A wird vor allem zu Materialuntersuchungen in der Halbleitertechnologie und der Kernenergietechnologie genutzt. Das starke Interesse, das diese Methode gefunden hat, l t es w nschenswert erscheinen, diese deutschsprachige Beschreibung zu ver ffentlichen. Obwohl hier speziell die Verwendbarkeit der R ckstreuung zu Analysezwecken bei kleinen Energien, wie sie von Niederenergiebeschleunigern geliefert werden, unt- sucht wird, wurde diese Arbeit so verfa t, da sie auch als allgemeine Einf hrung in die Methode verstanden werden kann. Ihr liegt die Diplomarbeit von Herrn A. Weller zugrunde, der den elektrostatischen Analysator gebaut sowie das Spektrensimu- lationsprogramm geschrieben hat (Institut f r Strahlen- und Ke- physik, Bonn, 1979). - 3 - Zusammenfassung Die Methode der Rutherford-R ckstreuung (RBS) erlaubt es, quan- titative Analysen d nner Folien und Oberfl chenanalysen mit hoher Empfindlichkeit und guter Genauigkeit durchzuf hren. Zus tzlich wird Information ber die Elementverteilung in einer Probe in Abh ngigkeit von der Tiefe unter der Oberfl che erhal- ten. Besonders diese M glichkeit der Tiefenprofilmessung zeich- net die RBS vor anderen physikalischen Analysemethoden aus.

• Format: Paperback
• Language: German
• ISBN: 3531029991
• ISBN13: 9783531029993
• Release Date: January 1980
• Publisher: Vs Verlag Fur Sozialwissenschaften
• Length: 81 Pages
• Weight: 0.34 lbs.
• Dimensions: 0.2" x 6.7" x 9.6"