Schon wenige Jahre nach der Vorstellung des ersten funktionierenden Lasers im Jahr 1960 wurde ein Nd: YAG-Festk rperlaser zum Bohren von Uhrenlagersteinen industriell eingesetzt 1], 2]. Trotzdem ist das Laserbohren heute gegen ber dem Laserschneiden und -schwei en im industriellen Bereich wenig vertreten 3]. Die wesentlichen Ursachen fur die geringere Verbreitung des Laserbohrens liegen in der zu ungenauen Reproduzierbarkeit der Bohrungsdurchmesser und der gro en Konizit t der Bohrungen. Auch Schmelzablagerungen an den Bohrungen machen speziell bei Mikroanwendungen oftmals weiterhin eine Nachbearbeitung notwendig. Um diese Nachteile beheben zu k nnen, ist sowohl ein vollst ndiges Verst ndnis der physikalischen Prozesse beim Bohrvorgang notwendig als auch die Entwicklung von neuen Strahlquellen mit entsprechend hoher Strahlqualit t erforderlich. Um bei Festk rperlasern eine gute Strahlqualit t bei gleichzeitiger Erh hung der Laserleistung zu erzielen, m ssen die unerw nschten optischen Effekte, wie die thermische Linsenbildung und die thermi- schen Spannungen, im Lasermedium kompensiert werden 4]. L sungsm glichkeiten bestehen entweder in der Verwendung eines instabilen Resonators 5] oder im Einsatz von einer Kristallgeometrie in Forme einer Platte (eng.: Slab) gegen ber dem bisher verwendeten zylinderf rmigen Laserstab (eng.: Rod) 6].
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