L'idee premiere de ces travaux etait d'evaluer la potentialite des reseaux 2D de nanocristaux (NC) d'argent de 5 nm de diametre comme masques dans les procedes de gravure. Ces reseaux ont donc ete soumis a un plasma d'oxygene genere dans les procedes de Gravure Ionique Reactive. L'analyse des memes zones avant et apres plasma demontre la coexistence de deux comportements regis par la regularite de l'arrangement 2D des NC. Les assemblees parfaitement arrangees restent quasiment intactes, tandis que celles qui presentent des defauts d'assemblage sont detruites. Les NC coalescent alors pour former de plus grandes particules spheriques qui peuvent etre monocristallines. Aucune trace d'oxyde d'argent, ni sur les particules coalescees, ni sur les assemblees restees intactes n'est detectee, meme dans des conditions d'exposition tres corrosives. L'etude, in fine consacree a la reactivite des reseaux face au plasma, demontre une nouvelle propriete intrinseque des NC: l'ordre (la regularite de l'arrangement) determine la stabilite des NC face au plasma d'oxygene. Un mecanisme de coalescence des NC et un mecanisme de formation des deux types de reseaux coexistant sont proposes."
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