Präparation lateral strukturierter magnetischer Schichten mittels Laser-Interferenz-Lithographie [German]

By Peter Kimmel

Inhaltsangabe: Einleitung: Das Studium der Eigenschaften von nanostrukturierten magnetischen Filmen hat in den letzten Jahren ein zunehmendes Interesse erfahren, vor allem im Hinblick auf k nftige neue Anwendungen in Form magnetischer Speicher oder Sensoren. Ein Ziel ist die Verkleinerung der Lesek pfe von Festplatten, bei denen zur Zeit Fl chen mit mehreren Mikrometern Ausdehnung zur Speicherung eines Bits beschrieben werden m ssen. Das Volumen der weltweit ausgelieferten magnetischen Festplatten-Speicherkapazit t steigt um ca. 40 % j hrlich, alle drei Jahre verdoppelt sich die Speicherdichte Si95]. Ein neues Konzept zum Erzielen h herer Speicherdichten ist etwa die von Chou et al. vorgeschlagene sogenannte "Quantendisk," bei der jedes Bit durch eine separate Einzeldom ne repr sentiert wird. Die Definition der Bitpositionen schon beim Herstellungsproze w rde neben dem Vorteil kleinerer Schreib-/Lesek pfe deren pr zisere Positionierung erlauben und w rde den Einflu durch Nachbarbits wegen des nichtmagnetischen Materials zwischen diesen 1-Bit-Inseln reduzieren. Eine weitere zentrale Anwendung werden MRAMs sein (magnetisches Random-Access-Memory), deren Entwicklung jetzt von mehreren f hrenden Herstellern magnetischer Speicher intensiv in Angriff genommen wird. F r eine weitere Verkleinerung der Strukturen m ssen jedoch zun chst detaillierte Untersuchungen verschiedenster Probengeometrien und der dabei neu auftretenden Ph nomene durchgef hrt werden, wobei periodische Strukturen niedriger Dimensionalit t mit Ausdehnungen von etwa 5 pm bis hinunter zu atomaren Gr enordnungen von Interesse sind. Neben Dr hten (Streifen) und Inseln (kleinen scheibenf rmigen Fl chen) werden dabei auch gezielt Probenbereiche mit ferromagnetischen S ulen oder mit kurzen Streifen hergestellt, wodurch sich definierte Magnetisierungsrichtungen und Dom nenformen erzeugen lassen. Gegenstand der Arbeit ist der Aufbau eines interferenzlithographischen Verfahrens, mit dem Streifen- und Inselstr

• Format: Paperback
• Language: German
• ISBN: 3838614178
• ISBN13: 9783838614175
• Release Date: January 1997
• Publisher: Diplom.de
• Length: 104 Pages
• Weight: 0.32 lbs.
• Dimensions: 0.3" x 5.8" x 8.3"