PbTe-Kristall-Sputtern und Wiederabscheidung von gesputterten Spezies [German]

By Attila Csík and Dmytro Zayachuk

Das Sputtern der Seitenfl chen von PbTe-Kristallen, die nach dem Bridgman-Verfahren aus der Schmelze gezogen wurden, mit Ar-Plasma unter den Bedingungen der sekund ren neutralen Massenspektrometrie wird untersucht. Es werden neue Ph nomene vorgestellt: aperiodische Schwankungen der Pb- und Te-Sputterraten, eine enorme Pr ferenz f r Te-Sputterung, die zu Beginn des Sputterprozesses mehr als zwei Gr enordnungen erreicht, und ein signifikanter berschuss der integrierten Te-Sputterausbeute gegen ber der von Pb bei l ngerer Sputterung mit Plasma niedriger Energie (50-160 eV). Die Zusammenh nge zwischen den Merkmalen des PbTe-Kristalloberfl chensputterns und den Prozessen der Wiederabscheidung der gesputterten Spezies auf der Sputteroberfl che werden aufgezeigt. Es wird geschlossen, dass die Bildung und das erneute Sputtern der subkritischen Keime der neuen Phase zu Schwingungen der Sputterausbeuten von Pb und Te f hren. Die Bildung der r ckgesputterten Oberfl chenstrukturen postkritischer Gr en f hrt zu nderungen der durchschnittlichen Gr en der Pb- und Te-Sputterausbeuten. Die Besonderheiten der Ladungszust nde des interstitiellen Pb und Te in der PbTe-Kristallmatrix sind auf das starke bevorzugte Sputtern von Te durch die Ar+-Ionenstrahlen niedriger Energie zur ckzuf hren.

• Format: Paperback
• Language: German
• ISBN: 6208945844
• ISBN13: 9786208945848
• Release Date: June 2025
• Publisher: Verlag Unser Wissen
• Length: 56 Pages
• Weight: 0.19 lbs.
• Dimensions: 0.1" x 6.0" x 9.0"