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Paperback Papel do recozimento na engenharia de interface em dispositivos Ge MOS [Portuguese] Book

ISBN: 620643382X

ISBN13: 9786206433828

Papel do recozimento na engenharia de interface em dispositivos Ge MOS [Portuguese]

Os diel ctricos de elevada permissividade e os substratos adequados est o a ser intensamente estudados tendo em vista a sua utiliza o na conce o de VLSI. No entanto, o xido de h fnio (HfO2) um candidato promissor para a pr xima gera o de diel ctricos de porta, devido sua constante diel ctrica relativamente elevada 25, ao seu grande intervalo de banda, sua boa estabilidade t rmica e sua energia livre de rea o relativamente elevada com o material do substrato. Recentemente, os dispositivos electr nicos baseados em Ge voltaram a receber uma aten o consider vel e o Ge pode fornecer solu es para os principais problemas que a tecnologia Si enfrenta nos dispositivos CMOS avan ados; isto deve-se principalmente maior mobilidade dos buracos e dos electr es no substrato Ge. Assim, este livro til para os leitores conhecerem algumas quest es importantes sobre a tecnologia Ge para dispositivos de alta frequ ncia.

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