Die wirtschaftliche Bedeutung der Mikrosystemtechnik hat in den letzten Jahren stark zugenommen. Um die Vorteile der Mikrosystemtechnik erfolgreich nutzen zu k?nnen ben?tigt der Ingenieur fundierte Kenntnisse verschiedener Disziplinen wie Elektronik, Mechanik, Optik, Herstellungsverfahren und der Systemtheorie. Neben grundlegenden Konzepten der Mikrosystemtechnik werden detailliert Realisierungsbeispiele von Mikrosystemen beschrieben. Zahlreiche ?bungsaufgaben am Ende eines jeden Kapitels dienen der Selbstkontrolle und Festigung des behandelten Stoffes. Neben wichtigen Korrekturen informiert die zweite Auflage erg?nzend ?ber neuere Verfahrensentwicklungen und neue Typen von Drehratensensoren sowie ?ber Mikroschalter im Bereich Aktorik. Im Internet finden sich unter http://mescheder.net/ulrich/ Erg?nzungen zum Buch und L?sungen zu den Aufgaben.
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