Die Mikrosystemtechnik (MST) besteht in der Regel aus verschiedenartigen, z. B. mechanischen, optischen oder elektronischen Komponenten, die sehr genau und auf kleinstem Raum zusammengef gt werden m ssen. Markante Beispiele sind Abtastk pfe f r CD-Spieler, mikrooptische und -optoelektronische Bausteine f r Kommunikationssysteme oder Mikrosensoren. Das vorliegende Buch liefert zum ersten Mal eine systematisierte Gesamtsicht auf die Mikromontage- und Mikroroboterproblematik. Der Leser kann auch ohne mathematischen Aufwand den Stoff erarbeiten.
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