Mikroentladungs-Arrays auf Silicium [German]

By Mukesh Kumar Kulsreshath

Mikroplasmen werden zu einem wichtigen Thema in der Plasma-Community. Mikroplasmen bestehen aus Mikrohohlkathodenentladungen (MHCD), Mikrojets und dielektrisch behinderten Entladungen (DBD). Sie k nnen alle bei atmosph rischem Druck arbeiten und sind Nichtgleichgewichtsplasmen. Unter diesen verschiedenen Arten von Mikroentladungen erscheinen MHCDs als eine sehr vielversprechende Ger tekonfiguration, um Gleich- oder Wechselstrom durch verschiedene Gase zu leiten. In diesem speziellen Reaktor ist das stabile Mikroplasma in einem Hohlraum eingeschlossen. Obwohl viele Konfigurationen von MHCD-Anordnungen vorgeschlagen wurden, wurden integrierte Systeme mit MHCDs und Mikroelektronik noch nicht vorgestellt. Ziel dieser ver ffentlichten Arbeit ist es, verschiedene Arten von Silizium-Mikroreaktoren vorzuschlagen, die durch Mikrofabrikationstechniken hergestellt werden, sie durch elektrische und optische Diagnostik zu charakterisieren und sie parallel f r die Gasverarbeitung zu testen. So soll ein besseres Verst ndnis der physikalischen Ph nomene im Zusammenhang mit Mikroentladungsanordnungen aus Silizium geschaffen werden.

• Format: Paperback
• Language: German
• ISBN: 6204730738
• ISBN13: 9786204730738
• Release Date: December 2024
• Publisher: Verlag Unser Wissen
• Length: 180 Pages
• Weight: 0.60 lbs.
• Dimensions: 0.4" x 6.0" x 9.0"