Microstereolithography and Other Fabrication Techniques for 3D Mems

By Vijay K. Varadan

Eine moderne Einführung in das relativ junge Gebiet der Erzeugung winziger Strukturen, die insbesondere zur Herstellung von Mikrosensoren, Schrittmotoren und miniaturisierten Signalverarbeitungseinheiten benötigt werden. Besprochen wird eine ganze Palette von Mikrofertigungstechniken wie Laserablation und LIGA. Angesprochen werden dabei auch modernste Anwendungsgebiete wie organische Dünnschichttransistoren (TFTs), Antennen, drahtlose Telemetriesysteme und Systeme zur Signalweiterleitung.

• Format: Hardcover
• Language: English
• ISBN: 047152185X
• ISBN13: 9780471521853
• Release Date: March 2001
• Publisher: Wiley
• Length: 274 Pages
• Weight: 1.17 lbs.
• Dimensions: 0.8" x 6.1" x 9.2"