MeV-Elektronenbestrahlung von Si-Heterostrukturen [German]

By Sonia Kaschieva

Die Erzeugung von Strahlungsdefekten durch hochenergetische MeV-Elektronenbestrahlung von n- und p-Typ Si-SiO2-Strukturen mit verschiedenen Arten von Oxiden wurde untersucht. Die Morphologie nderungen des SiO2-Oxids w hrend der MeV-Elektronenbestrahlung wurden mittels AFM beobachtet. Es werden Si+-Ionen-implantierte Si-SiO2-Strukturen vor und nach MeV-Elektronenbestrahlung vorgestellt. Die Umverteilung von Sauerstoff- und Silizium-Atomen und die Erzeugung von Si-Nanokristallen w hrend der MeV-Elektronenbestrahlung wurde mit RBS/C- bzw. AFM-Techniken beobachtet. Optische Eigenschaften, Photolumineszenz und spektroskopische Untersuchungen von SiOx-Filmen, die mit MeV-Elektronen bestrahlt wurden, werden ebenfalls durchgef hrt.

• Format: Paperback
• Language: German
• ISBN: 6200995710
• ISBN13: 9786200995711
• Release Date: May 2020
• Publisher: Verlag Unser Wissen
• Length: 180 Pages
• Weight: 0.60 lbs.
• Dimensions: 0.4" x 6.0" x 9.0"