Die Entwicklung der modernen Kommunikations- und Computertechnologie auf dem neuesten Stand der Technik erfordert eine st ndige Versch rfung der Anforderungen an die Reinheit des Produktionsprozesses;Diesem Umstand wurde in wissenschaftlichen und technischen Informationen durchweg mehr Aufmerksamkeit gewidmet als anderen, ebenso wichtigen Entwicklungen bei mikroelektronischen Herstellungsverfahren und komplexen Produktionstechnologien.Zum Teil l sst sich dies durch den Wunsch erkl ren (und zwar nicht uneigenn tzig), den Produktionsprozess mit den etablierten und aktuellen Umweltstandards in Einklang zu bringen und weniger kostspielig zu gestalten (da viele glauben, dass Umweltkosten die Produktionseffizienz verringern und die Kosten f r Produkte und Dienstleistungen erh hen).
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