Mems and Microsystems: Design, Manufacture, and Nanoscale Engineering

By Tai-Ran Hsu

Book Overview

Aktuell und didaktisch ausgereift, bietet der Band Anwendern und fortgeschrittenen Studierenden einen ausgezeichneten Zugang zu den Themenbereichen MEMS und Mikrosysteme. Berücksichtigt werden sowohl Aspekte der Elektrik und Elektronik als auch die mechanische Seite der MEMS.

• Format: Hardcover
• Language: English
• ISBN: 0470083018
• ISBN13: 9780470083017
• Release Date: March 2008
• Publisher: Wiley
• Length: 576 Pages
• Weight: 0.10 lbs.
• Dimensions: 1.4" x 7.7" x 9.3"