Matrizes de microdescarga em silício [Portuguese]

By Mukesh Kumar Kulsreshath

O microplasma est a tornar-se um t pico importante na comunidade do plasma. Os microplasmas compreendem as descargas de c todo oco (MHCD), os microjactos e as descargas de barreira diel ctrica (DBD). Todos eles podem funcionar press o atmosf rica e s o plasmas de n o-equil brio. Entre estes diferentes tipos de microdescargas, as MHCDs aparecem como uma configura o de dispositivo muito promissora para conduzir corrente DC ou AC atrav s de diferentes gases. Neste reator em particular, o microplasma est vel confinado dentro de uma cavidade. Embora tenham sido propostas muitas configura es de dispositivos MHCD, ainda n o foram apresentados sistemas integrados envolvendo MHCDs e microeletr nica. O objetivo deste trabalho publicado propor diferentes tipos de microrreatores de sil cio fabricados por t cnicas de microfabrica o, caracteriz -los atrav s de diagn sticos el ctricos e pticos e test -los em paralelo para o processamento de g s. Deste modo, pretende-se compreender melhor os fen menos f sicos relacionados com as matrizes de microdescargas fabricadas em sil cio.

• Format: Paperback
• Language: Portuguese
• ISBN: 6204737740
• ISBN13: 9786204737744
• Release Date: December 2024
• Publisher: Edicoes Nosso Conhecimento
• Length: 172 Pages
• Weight: 0.57 lbs.
• Dimensions: 0.4" x 6.0" x 9.0"