Matrices de micro-décharges sur silicium [French]

By Mukesh Kumar Kulsreshath

Le microplasma est en train de devenir un sujet majeur au sein de la communaut du plasma. Les microplasmas comprennent les micro-d charges cathode creuse (MHCD), les micro-jets et les d charges barri re di lectrique (DBD). Ils peuvent tous fonctionner la pression atmosph rique et sont des plasmas non quilibr s. Parmi ces diff rents types de microd charges, les MHCD apparaissent comme une configuration de dispositif tr s prometteuse pour faire passer un courant continu ou alternatif travers diff rents gaz. Dans ce r acteur particulier, le microplasma stable est confin l'int rieur d'une cavit . Bien que de nombreuses configurations de dispositifs MHCD aient t propos es, aucun syst me int gr impliquant des MHCD et la micro lectronique n'a encore t pr sent . L'objectif de ce travail publi est de proposer diff rents types de micror acteurs en silicium fabriqu s par des techniques de microfabrication, de les caract riser par des diagnostics lectriques et optiques et de les tester en parall le pour le traitement des gaz. Il s'agit donc de mieux comprendre les ph nom nes physiques li s aux r seaux de microd charges en silicium.

• Format: Paperback
• Language: French
• ISBN: 6204737007
• ISBN13: 9786204737003
• Release Date: December 2024
• Publisher: Editions Notre Savoir
• Length: 172 Pages
• Weight: 0.57 lbs.
• Dimensions: 0.4" x 6.0" x 9.0"