Zwei neuartige integrierte Bauelemente werden erstmals realisiert und ihre M?glichkeiten und Limitationen diskutiert: ein D?nnschicht-Laserscanner und ein D?nnschicht-Minispektrometer. Die Bauelemente sind mit ca. 10 mm3 von sehr geringer Baugr? e. Es wird zudem gezeigt, dass mit dem vorgestellten Konzept eine Strahlablenkung im Raum ohne den Einsatz mechanischer Aktuatoren m?glich ist.
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