KNN-Pulver und Dickschichten für MEMS-Bauelemente [German]

By Tony Lusiola and Robert Dorey

Bleifreie piezoelektrische Materialien haben aufgrund der zunehmenden Umweltbedenken im Zusammenhang mit dem Vorhandensein von Blei und den daraus resultierenden Rechtsvorschriften, darunter Richtlinien wie die Richtlinie ber Elektro- und Elektronik-Altger te (WEEE) und die Richtlinie zur Beschr nkung der Verwendung bestimmter gef hrlicher Stoffe (RoHS), an Bedeutung gewonnen. W hrend bei der Herstellung bleifreier Massenmaterialien gro e Fortschritte erzielt wurden, hat die Notwendigkeit, diese bleifreien piezoelektrischen Materialien der n chsten Generation mit Substraten zu integrieren, um funktionale Mikroger te herzustellen, weniger Beachtung gefunden und wirft eine Reihe von Herausforderungen auf. In Bezug auf das Hochtemperatur-Mischoxid-Syntheseverfahren wurde ein einfaches, kosteng nstiges und robustes Niedertemperatur-Hydroxid-Syntheseverfahren (MHS) entwickelt, das aus dem Salzschmelzverfahren (MSS) abgeleitet ist, um K0,5Na0,5NbO3 (KNN)-Feinkornpulver herzustellen. Dieses Verfahren l sst sich leicht auf den industriellen Ma stab bertragen. Zur Herstellung von KNN-Dickschichten auf Siliziumsubstraten wurde eine Pulver/Sol-Gel-Verbund-Tintenfilmtechnik verwendet. Die Charakterisierung der hergestellten Schichten ergab, dass die Schichten piezoelektrische Koeffizienten f r undotiertes Material im Bereich von 30 pC/N aufweisen.

• Format: Paperback
• Language: German
• ISBN: 6209479553
• ISBN13: 9786209479557
• Release Date: January 2026
• Publisher: Verlag Unser Wissen
• Length: 72 Pages
• Weight: 0.24 lbs.
• Dimensions: 0.2" x 6.0" x 9.0"