Kantenisolation von Solarwafern [German]

By David Haldan

Kantenisolation von monokristallinen Solarwafern auf Basis von thermisch angeregten tzpasten mittels CO2-Laser. ber Anregung einer KOH-Paste wurde selektiv Silizium am Rand eines Wafer zur Erzeugung einer Isolationskante ge tzt. In Abh ngigkeit des Isolationsgrades wurden die Spurbreiten der aufgetragenenen Paste sowie die Laserparameter Intensit t und Vorschubgeschindigkeit untersucht. Dabei wurde gezeigt, dass die Wafer unter bestimmten Parameter isoliert werden k nnen.

• Format: Paperback
• Language: German
• ISBN: 3639626060
• ISBN13: 9783639626063
• Release Date: April 2014
• Publisher: AV Akademikerverlag
• Length: 64 Pages
• Weight: 0.23 lbs.
• Dimensions: 0.1" x 6.0" x 9.0"