Wohl das auff lligste Charakteristikum der Entwicklung der mo- dernen Elektronik ist der kontinuierliche Trend zu einer Mi- niaturisierung der Bauelemente und zu einer Integration der Schaltungen in einem einzigen Halbleiterkristall. Der Einflu der integrierten Schaltungen ist in zunehmendem Ma in nahezu allen Bereichen des wirtschaftlichen Lebens zu sp ren. Trotz- dem ist in deutscher Sprache nur wenig Literatur erh ltlich, die als Einf hrung in das Gebiet der integrierten Schaltungen geeignet w re. Mit dem vorliegenden Skriptum wird versucht, diesem Mangel abzuhelfen. Das Skriptum ist in erster Linie zum Gebrauch neben einer Vor- lesung gedacht, die sich ber zwei Semester in zwei Wochenstun- den an Studierende der Elektrotechnik etwa ab dem 6. Semester wendet. Da das Skriptum m glichst wenig Bezug auf weiterf hren- de Literatur nimmt, sollte es auch f r diejenigen geeignet sein, die beruflich an integrierten Schaltungen interessiert sind und ber einige Grundkenntnisse der Festk rperphysik ver- f gen. Das Skriptum befa t sich vorwiegend mit den technologischen Aspekten der Herstellung integrierter Schaltungen. Da aber ei- ne enge Beziehung zum Schaltungsentwurf besteht, werden auch die Schaltungskonzepte beschrieben, die f r integrierte Schal- tungen von besonderer Wichtigkeit sind oder (wie die superinte- grierten Schaltungen, Kap. 4.4) durch sie berhaupt erst reali- sierbar werden. Gem seiner berra enden wirtschaftlichen Be- deutung nimmt die Behandlung des Halbleiters Silizium den bei weitem gr ten Teil des Skriptums ein. Daneben werden auch In- tegrationsformen auf Galliumarsenid und magnetischen Werkstof- fen gestreift (Kap. 7), die f r zUk nftige Anwendungen gute Aussichten bieten.
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