Por?ses Silizium (PS) ist aufgrund seiner Anwendungen in der Optoelektronik, in biologischen und chemischen Sensoren, in der Mikrobearbeitung, bei der Herstellung von Diffusionsmembranen und als Tr?germaterial und Falle f?r Molek?le in der matrixfreien Desorptions/Ionisations-Massenspektrometrie sehr wichtig. PS kann auch in der Photovoltaik, in biomedizinischen Anwendungen sowie in Batterien und Solarzellen eingesetzt werden. PS wird normalerweise entweder durch anodisches ?tzen in HF-basierten L?sungen oder durch Flecken?tzen in HF/Oxidationsmittel hergestellt. W?hrend die metallunterst?tzte chemische ?tzmethode keine externe Vorspannung ben?tigt und die Bildung von gleichm? igem PSL schneller erm?glicht als die Flecken?tzmethode.
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