Handbook of Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition

Thema dieses Buches sind verschiedene Plasmaverfahren zur gezielten Modifikation von Oberflachen und oberflachennahen Schichten fester Werkstoffe. Die Gemeinsamkeit der diskutierten Methoden besteht darin, da? das bearbeitete Werkstuck in ein Plasma eingebracht wird; den Ionen des Plasmas wird dabei die zur Implantation erforderliche kinetische Energie zugefuhrt. (09/00)

• Format: Hardcover
• Language: English
• ISBN: 0471246980
• ISBN13: 9780471246985
• Release Date: October 2000
• Publisher: Wiley-Vch
• Length: 760 Pages
• Weight: 3.65 lbs.
• Dimensions: 2.0" x 7.0" x 9.8"