II. Das Massenspektrometer MS7 von AEI . ... .... .... . ... . ... . . ... 8 lIL Analysenmethode 1. Probenvorbereitung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 10 2. Qualitative Analyse ........................................ 11 3. Quantitative Analyse ....................................... 12 IV. Analysenbeispiele ............................................ 16 V. Diskussion der Fehlerursachen .. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 24 VI. Diskussion der verschiedenen Auswerteverfahren ... . . . . . . . . . . . . .. 28 VII. Zusammenfassung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .. 32 VIII. Literaturverzeichnis .......................................... 33 5 1. Einleitung Obwohl DEMP STER 1] bereits 1946 auf die analytische Anwendung des Vakuum- funkens in der Festk rpermassenspektroskopie hingewiesen hat, wurde diese Technik erstmals 1954 von HANNAY 2] zur Spurenanalyse in Halbleitermaterial benutzt. Das Hauptproblem bei der massenspektroskopischen Analyse von Festk rpern ist n mlich, von der Probensubstanz einen Ionenstrahl zu erzeugen, dessen Anteil an den verschiedenen Ionen charakteristisch f r die Z usammensetzung der Pro be ist. Diese Forderung wird mit der "Hochfrequenz"-Ionenquelle angen hert erf llt. Sie bietet neue M glichkeiten f r die Analyse, und zwar aus folgenden Gr nden: 1. Von allen Elementen - ohne Ausnahme - lassen sich intensive Ionenstr me erzeugen. 2. Die Zusammensetzung des Ionenstrahles entspricht weitgehend der Zusam- mensetzung der Probe. 8 3. Spurengehalte von 1 in 10 und darunter k nnen ohne chemische Voran- reicherung erfaBt werden. 4. bersichtsanalysen (ohne Eichproben mit bekannter Zusamm nsetzung), die das ganze Periodensystem umfassen, dauern nur wenigt Stunden. 5. Quantitative Spurenanalysen mit einer relativen Standardabweichung von 1 etwa 0,30 sind mit geeigneten Vergleichsstandards m glich . Da die Funkenionenquelle Ionen mit einer Energiebreite von einigen ke V erzeugt, sind f r die Trennung der Ionen doppelfokussierende Massenspektrometer not- wendig.
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