Fabrico de silício nanoporoso [Portuguese]

By Awad Mogoda

As caracter sticas da camada porosa de Si formada pelo condicionamento qu mico de p-Si com prata em solu o aquosa de HF/HNO3 s o influenciadas pela concentra o de i es de Ag no banho de revestimento, pelas concentra es do condicionador (HF) e do agente oxidante (HNO3) e pelo tempo de condicionamento do substrato de Si. Os resultados do SEM confirmaram que a deposi o de i es de prata a partir de uma solu o de AgNO3 a 1,0 10-3 M em p-Si antes do ataque qu mico em HF/HNO3 resultou numa PSL uniforme, em compara o com as outras concentra es de nitrato de prata. Os dados de imped ncia revelaram que, quando as concentra es de HF e de cido n trico aumentam, o mesmo acontece com a dissolu o do Si. O fabrico de PSL com orif cios redondos regulares e de pequeno di metro foi mais r pido com o ataque qu mico modificado com Ag do p-Si do que com o tradicional ataque com corante na mesma solu o de ataque, que produziu poros de largura consider vel. A aus ncia de um pico de prata nas medi es de EDX para a PSL resultante do ataque qu mico com resist ncia Ag sugeriu que a Ag depositada se tinha dissolvido totalmente na solu o ap s o ataque. Os resultados de SEM e AFM revelaram que o di metro dos nanoporos e a rugosidade da superf cie aumentaram com o aumento da dura o do condicionamento.

• Format: Paperback
• Language: Portuguese
• ISBN: 6206927377
• ISBN13: 9786206927372
• Release Date: December 2023
• Publisher: Edicoes Nosso Conhecimento
• Length: 52 Pages
• Weight: 0.20 lbs.
• Dimensions: 0.1" x 6.0" x 9.0"