O desenvolvimento deste trabalho surgiu como uma prepara??o para um futuro projecto do CEMMPRE que consiste na produ??o de pel?culas finas DLC para an?is de pist?o de motores de combust?o interna de alta compress?o depositados por HiPIMS em modo DOMS. O objectivo deste trabalho ? estudar a influ?ncia de certos par?metros de deposi??o nas amostras, a fim de obter uma linha de orienta??o a seguir no projecto. A varia??o no vi?s do substrato mostra que ao aumentar o vi?s do substrato na dureza do processo de deposi??o dos revestimentos DLC, aumenta. Ao aumentar o enviesamento do substrato, os i?es de carbono no plasma s?o atra?dos com mais for?a para o substrato e resultam numa estrutura mais compacta dos filmes. Como parte desta tese, o Ne ? produzido para descarregar g?s e os efeitos do Ne s?o estudados. Ne aumenta o grau de ioniza??o do Carbono no plasma de modo a aumentar a raz?o sp3 na estrutura do filme. Uma vez que sp3 ? uma hibrida??o mais potente, os revestimentos que s?o depositados com Ne mostram mais dureza no teste de indenta??o de Nano.
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