Dieses Buch befasst sich mit einer Strategie zur Konzeption und Entwicklung eines Stromimpulsgebers mit einigen Neuerungen, damit dieser f r elektrochemische Halbleiterprozesse eingesetzt werden kann. Aufgrund der anwendungsspezifischen Anforderungen sind solche Impulsgeber auf dem Markt nicht ohne Weiteres erh ltlich. Der Impulsgeber muss eine scharfe Anstiegs- und Abfallzeit im Bereich von wenigen Nanosekunden aufweisen und eine variable schmale Impulsbreite im Nanosekundenbereich erm glichen. Dieses Buch vermittelt daher fundierte Kenntnisse in diesem Bereich und ist daher sehr n tzlich.
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