Entwurf, Analyse Und Synthese Eines Co-Gassensors Mit Mems-Technologie [German]

By Vimala Juliet A, Priya Esther B, Jeyashree Y

Dieses Buch berichtet ber Design, Analyse und Synthese eines auf Silizium basierenden Kohlenmonoxid-Gassensors mit MEMS-Technologie. Der Schwerpunkt liegt auf der Untersuchung der Temperatur der Mikro-Heizplatte auf die Variation in der Leistung, wie der Analyt ist empfindlich auf bestimmte Gas bei hohen Temperaturen. Der allgemeine Ansatz, der in dieser Arbeit verfolgt wird, besteht darin, die M glichkeit der Verwendung von Mikro-Heizplatten f r die Gassensorik zu untersuchen. F r die Vervollst ndigung des Sensordesigns ist die Analyse der Temperaturverteilung in der Mikro-Heizplatte der entscheidende Teil. Zur Verwirklichung des Ziels des Buches wird ein auf Silizium basierender Kohlenmonoxid-Gassensor f r chemische Messungen entworfen und simuliert. Als Sensorfilm f r den Nachweis von Kohlenmonoxidgas wird ein Zinnoxidfilm verwendet. Sie wird h ufig in Gassensoranwendungen eingesetzt, da sie bei hohen Temperaturen empfindlich auf bestimmte Gase reagiert. Um diese hohe Betriebstemperatur zu erreichen, wurde eine Mikrostruktur entwickelt, die so genannte Mikro-Hotplate.

• Format: Paperback
• Language: German
• ISBN: 6208896649
• ISBN13: 9786208896645
• Release Date: July 2025
• Publisher: Verlag Unser Wissen
• Length: 80 Pages
• Weight: 0.26 lbs.
• Dimensions: 0.2" x 6.0" x 9.0"