Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren [German]

By Thomas Grund

Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu erm?glichen, welche sich nicht f?r monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufw?ndige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch f?r gr? erer St?ckzahlen durch ?bertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formged?chtnislegierung.

• Format: Paperback
• Language: German
• ISBN: 3866444966
• ISBN13: 9783866444966
• Release Date: October 2014
• Publisher: Karlsruher Institut Fur Technologie
• Length: 146 Pages
• Weight: 0.40 lbs.
• Dimensions: 0.3" x 5.8" x 8.3"