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Paperback Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen [German] Book

ISBN: 3731500264

ISBN13: 9783731500261

Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen (Schriftenreihe des Instituts fuer Angewandte ... Institut fuer Technologie)

Ni-Al-Superlegierungen sind bekannt f?r ihre guten mechanischen Eigenschaften unter hohen Temperaturen. Die elektrochemische Abscheidung von Ni mit Al-Nanopartikeln in LIGA-Strukturen und folgender W?rmebehandlung bietet die M?glichkeit, Ni-Al Superlegierungen f?r Hochtemperatur-LIGA-MEMS nutzbar zu machen. ?ber LIGA abgeschiedene Ni-Al-Mikrozugpr?fk?rper zeigen in Mikrozug- sowie Mikrokriechversuche eine verbesserte thermische Stabilit?t gegen plastische Verformung.

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