Inhaltsangabe: Einleitung: Vor allem im Bereich der hochaufl senden Mikroskope wurden in den letzten Jahren die Vergr erungs- und Aufl sungsanforderungen immer weiter gesteigert und verbessert. Dadurch ist es notwendig geworden immer pr zisere Manipulatoren zu entwickeln, die diesen gesteigerten Anforderungen gen gen. Zusammenfassung: Bei der Diplomarbeit Entwicklung eines Konzeptes f r einen Mikromanipulator mit Nanometergenauigkeit" soll ein Konzept erstellt werden, das verschiedene M glichkeiten f r die Realisierung eines hochgenauen x-/y- Tisches mit Nanometergenauigkeit liefert. In dieser ausgef hrten Diplomarbeit wird der Konstruktionsprozess von der Aufgabenstellung ber die Grundprinziplen bis zum ausf hrbaren Konzept dargelegt. Hierzu werden verschiedene M glichkeiten f r die Erstellung eines solchen Konzeptes aufgezeigt und untersucht. Die Ergebnisse werden sp ter bei der Konstruktion eines hochgenauen x-/y- Tisches f r ein hochaufl sendes Mikroskop (Rasterelektronenmikroskop, Raster Tunnel Mikroskop oder hnliches) verwendet. Es werden dabei die Konstruktions- und Entwicklungsvorg nge in folgende Abschnitte unterteilt: 1. Analysieren der Aufgabe und festlegen der Anforderungen in einer Anforderungsliste. 2. Aufstellung von Grundprinzipien f r eine Tischausf hrung Genauere Untersuchung von verwendbaren Tischausf hrungen. 4. Aufstellung von Grundprinzipien f r die lineare Bewegung. 5. Genauere Untersuchung von nutzbaren Linearbewegungsprinzipien. 6. Kombination der L sungsprinzipien zu verschiedenen Konzepten. 7. Auslegung der geeignetsten Konzepte. 8. Konstruktionszeichnungen f r die geeignetsten Konzepte. 9. Zusammenfassung. Inhaltsverzeichnis: Inhaltsverzeichnis: I.Einleitung1 1.1Erkl rung des Begriffs Mikromanipulator mit Nanometergenauigkeit"II 1.2Einsatz eines Mikromanipulators mit Nanometergenauigkeit"II II.Verwendete Formelzeichen und BegriffeIII 1.Analysieren der Aufgabe und festlegen der Anforderungen in einer Anforderungsli
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