Entwicklung, Bau und Erprobung einer Mikro-PL-Apparatur [German]

By Denise Reichel

Diplomarbeit aus dem Jahr 2008 im Fachbereich Physik - Experimentalphysik, Note: 1,8, Technische Universit?t Bergakademie Freiberg, Sprache: Deutsch, Abstract: Die Grundlage in der Mikroelektronik spielen Halbleiterbaumaterialien, die sich f?r ihr jeweiliges Einsatzgebiet aufgrund ihrer diesbez?glichen hervorragenden Eigenschaften auszeichnen. In der vorliegenden Arbeit richtet sich das Augenmerk auf eine optische Charakterisierungsmethode, die Photolumineszenz (PL). Mit ihr k?nnen u. a. Einfl?sse verschiedener Prozessschritte (z. B. Tempern der Probe) und mikroskopischer Strukturen (z.B. Micropipes im Siliziumkarbid), die f?r die Leistungsf?higkeit des Bauelementes kritisch sind, untersucht werden. Mit der PL bietet sich dem Anwender sowohl die M?glichkeit einer spektralen, lokalen Charakterisierung als auch einer ortsaufgel?sten bildlichen Darstellung (Topographie) des Defektinventars der Probe. Die Aufgabe der vorliegenden Diplomarbeit bestand in der Konstruktion und dem Bau einer Mikro-PL. Anhand der Anwendung auf ausgew?hlte Materialien soll in dieser Arbeit die Bedeutung der neuen Apparatur verdeutlicht werden. Im Folgenden wird der Leser zun?chst in die Grundlagen der Halbleiterphysik und der Photolumineszenz eingef?hrt. Anschlie end wird das Konzept der Mikro-PL vorgestellt und dabei auf Vor?berlegungen zum Bau, dessen Umsetzung und auf die aufgetretenen Probleme eingegangen. Weiterhin werden gewonnene Erkenntnisse ?ber den Apparatebau im Allgemeinen und die Optik im Besonderen pr?sentiert sowie die M?glichkeiten zur Verbesserung und Optimierung der Leistungsf?higkeit der Mikro-PL-Apparatur aufgezeigt. Der zweite Teil dieser Diplomarbeit besch?ftigt sich mit der Anwendung und Bedeutung der Mikro-PL f?r verschiedene Materialien. Zun?chst werden die bin?ren Halbleiter Indiumphosphid und Siliziumkarbid untersucht. Dar?ber hinaus werden die f?r die Geodatierung wichtigen Feldsp?te betrachtet. Abschlie end erwarten den Leser eine Zusammenfassung der im Rahmen die

• Format: Paperback
• Language: German
• ISBN: 3656309167
• ISBN13: 9783656309161
• Release Date: November 2012
• Publisher: Grin Verlag
• Length: 92 Pages
• Weight: 0.29 lbs.
• Dimensions: 0.2" x 5.8" x 8.3"