Die Mikrosystemtechnik gilt als eine der Schl sseltechnologien des 21. Jahrhunderts. Dieses Fachbuch tr gt dem Bedarf an fundiertem Fachwissen Rechnung und gibt dem Leser einen anschaulichen Einstieg in die faszinierende Welt dieser Technik. Hochaktuelle Anwendungen aus der Praxis von komplexen Mikrosystemen zeigen, wie sich miniaturisierte Funktionselemente auf kleinstem Raum integrieren lassen. Das umfangreiche Literaturverzeichnis ist dabei eine wertvolle Hilfe. Dem Fachmann aber auch Studierenden dient das Buch als Nachschlagewerk f r zahlreiche technologische Fragestellungen. Diese vollst ndig berarbeitete und erweiterte Auflage enth lt neue Unterkapitel zu Lab-on-a-Chip-Mikrosystemen, neuen Substratmaterialien und zur Laser-Mikrostrukturierung.
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