Dans ce travail les couches minces d' oxydes de Zn(1-X) CoXO 1%,3%,5%,9%,14%,18%,22%], Zn0.95Co0.05O et Zn0.90Co0.05M0.05O ( M = Al, Cu, Cd, Na) monophas s ont t synth tis s avec succ s par la technique de spray ultrasonique. Le principe de d p t repose sur le transport de la solution de d part l'aide d'un g n rateur ultrason sur une surface chauff e avec une temp rature r gul e 450 C le temps de d p t (de 30 minutes). Nous avons tudi l'influence du taux de dopage et de codopage sur les propri t s structurales, microstructurales et optiques. Afin d' largir notre tude plusieurs caract risations ont t effectu es. Structuralement, les couches ont t analys es par DRX, la microstructure tait analys au microscope lectronique balayage (MEB) (FEI QuantaTM 250 FEG). Le MEB est quip d'un D tecteur de spectroscopie aux rayons X dispersion d' nergie (EDAX), alors que les caract risations optiques ont t faites par UV-Visible.
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